1. 真空腔體內表面清洗：將真空腔體內表面的氧化層、塵土以及減少不相關物質等徹底地去除。使用化學方法清除腔體內表面上的氧化層及金屬細小微粒，如使用酸洗液像HCl、HF等。

2. 真空負壓管路清洗：在使用過程中，鍍膜設備內部會經常掛起很多異物，這些異物會附著在管道內，會影響內部壓力和真空度的穩定性，工藝的變化和清洗，如：用汽油表面，使用清洗劑和壓縮空氣將管路清洗干凈。

3. 真空泵清洗：真空泵對于工藝的穩定非常重要，由于泵的操作方式和使用的潤滑油不同，清洗方式也會相應變化�？梢允褂们逑磩┖蛪嚎s空氣將管路清洗干凈。需要在不聽時期，翻開泵底將零件取出進行清洗、更換。

4. 手動操作空間、手動倉清洗：手動倉需要依據所用材料以及清洗方式變化。如果使用的是金屬，可以選擇研磨，如果使用的是陶瓷，使用多一點電離水清洗即可。手動倉一般和氣體分配閥、磁控件等一起清洗。

5. 真空房清洗：真空房的清洗主要是為了保證空氣與真空工藝的隔離。清洗方式是提供新鮮的空氣，從房間外面進入真空房，通過空氣過濾器清潔空氣進入真空房內部，形成負壓，達到凈化真空房的目的。